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開爾文探針（Kelvin Probe）是一種非接觸無損震蕩電容裝置，用于測量導體材料的功函數(shù)（Work Function）或半導體、絕緣表面的表面勢（Surface Potential）。材料表面的功函數(shù)通常由上層的1-3層原子或分子決定，所以開爾文探針是一種的表面分析技術。主要型號：KP020 （單點開爾文探針），SKP5050（掃描開爾文探針）。